大直径端面微结构超精密加工机床
时间:2010-08-05 00:00:00 来源:科技部
1、研究目标:
针对太阳能发电站集热元件、超薄背投电视屏幕等,以及高精度大尺寸同心圆零件的加工的迫切需求,研制大直径端面微结构超精密加工机床, 可以加工菲涅尔透镜模具,开展大面积微结构加工关键技术的研究,实现清洁、环保、节能等零件的高效、精密加工,并在用户生产中实现应用。
2、考核指标:
1) 可加工同心圆工件尺寸:最大直径≧ф2.0m
2) 机床坐标轴的行程:X轴≧1200 mm; Z轴 100mm
3) 坐标轴的编程分辨率:50nm
4) 主轴的回转精度:1µm
5) 微结构的表面粗糙度:不大于10 nm
6) 菲涅尔透镜微结构的最小加工尺寸:不大于100µm
形成3-4项专利技术或专有技术,形成不少于5 项技术规范与标准;提出提高可靠性和精度保持性的具体方法,建立基本的可靠性试验手段,消除产品早期故障。
3、研究内容:
研究超精密立式机床主轴的高精度与高刚性技术及其在线精密动平衡技术;研究龙门结构中机床溜板的低摩擦与高减振技术;研究垂直运动轴的高分辨率驱动与保持技术;对机床的微结构的加工工艺技术及其加工软件技术进行研究,建立相关实验、检测技术等规范。
4、实施期限:
2011年1月-2013年12月
5、课题设置及经费要求:
拟支持2项课题研究;中央财政投入经费应主要用于关键技术研究、性能测试与工艺技术研究,建立相关试验装置和整机性能测试条件;自筹与地方配套资金合计数与中央财政投入经费比例不低于1:1,其中地方配套资金不低于中央财政投入经费的20%。
中央财政投入经费支持方式:前补助。
6、申报条件:
课题牵头单位应是国内机床生产企业,在上述领域具有较强的技术基础和技术开发队伍,具有较完善的试验、生产条件;要求落实最终用户并附有采购合同;优先支持使用专项支持研发的国产数控系统、功能部件、刀具的单位申报。